。
“而且我们一直都与多方的光刻机企业有技术支持和合作,这种交错的关系之下,除非德远受到了明确的针对,否则不会发生。”
梁梦松不擅长这些“大棋”,他只需要知道,苏远山说不会,那他就不用担心了。
而且德远目前也确实是尼康的友好客户,在去年WA协定签署后,国内半导体产业都风声鹤唳了许久,尼康为此还特意安排了工期……后面证明,霓国方面除了加强了检查之外,并没有干涉德远的订单。
“总之走着看,我们技术越有优势,就越有讨价还价的本钱。”说着苏远山站起身,朝着前方的实验室走去。
……
“林叔,赵叔。”
苏远山见两人同时站在门口,连忙上前握手,梁梦松也上前打了招呼。
见到跟在苏远山身后的梁梦松,林本坚倒没什么,赵凯东则是微怔了一下——此时张汝金不在,按照规矩,负责接待陪同苏远山的显然应该是德远的二把手来……
按照职位算,梁梦松只能排到德远的第五。
这架势,看来苏远山是真铁了心的要全力推制程突破了。
在接待室落座后,苏远山简单问了一下目前的进度——在光源领域,因为林本坚的加入,赵凯东团队进展得很快,他们即将完成193nm的准分子激光光源技术。
虽然比起国外同行落后了差不多一年多,但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看,193nm将会成为很长一段时间内都无法突破的光源。否则灯塔国那边也不会成立EUV联盟,找寻新的出路了。
当然,对于如何跨越193nm,除了EUV之外,也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在准备攻克157nm的HeF2激光,以及电子束投射(EPL),离子投射(IPL)、甚至X光等等……
总之,就是解决的办法一箩筐,放眼望去全是路。
但具体哪一条是真正的正道,谁也不知道。
嗯,只有苏远山一个人知道。
因为这些方案,都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。
“林叔,赵叔,193nm之后你们的想法是什么?”坐到沙发上,苏远山端起茶杯抿了一口。
赵凯东和林本坚对视了一眼,随后笑着道:“193nm看样子都要停留很久,你这么着急?”
“我本来是不着急的。”苏远山很坦白:“主要是老美那边搞EUV,搞得我有点心慌。”
赵凯东便笑着摇了摇头:“虽然说光源要比光刻机领先很多,但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上,你心慌也没用。”
“至于说下一代光源,其实我和老林并不十分看好157nm,因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统,非但物镜要重新搞,光刻胶也要重新研制……最主要的是,波长步进提升不大,且投入产出比太高了。”
“EUV,听起来很不错,有点下一代光源的意思。但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”
苏远山便笑道:“有您二位在,咱们这实验室可不是小作坊。”
“呵呵,不管是不是,但设计师不是有句话吗?摸着石头过河……既然前面有人趟路了,那我们也干脆摸着石头过河就行了。”赵凯东笑道:“intel不是拉了那么多企业吗?你也可以拉一个嘛。”
苏远山:“……”
他算是听明白了,赵凯东的意思是,让他也搞个EUV联盟。
苏远山倒是想搞,可现在要是搞的话,那就不是远芯主导,而是所有人给霓国人打工。
于是他便望向林本坚。
“林叔?你有什么妙招没有?”
(注:虽然有点枯燥,但……总归还是得写。。。)
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